您现在的位置: 首页 > 技术转让 > 高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法
高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法

高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法

  • 专利类型:发明专利
  • 有效期:不限
  • 发布日期:2020-03-30
  • 技术成熟度:详情咨询
交易价格: ¥面议
  • 法律状态核实
  • 签署交易协议
  • 代办官方过户
  • 交易成功

专利推荐

  • 技术(专利)类型 发明专利
  • 申请号/专利号 CN201710518517.3 
  • 技术(专利)名称 高功率脉冲磁控溅射CrAlSiN纳米复合涂层及其制备方法 
  • 项目单位 天津职业技术师范大学
  • 发明人 范其香 
  • 行业类别 化学、冶金
  • 技术成熟度 详情咨询
  • 交易价格 ¥面议
  • 联系人 刘宇者
  • 发布时间 2020-03-30  
  • 01

    项目简介

    本发明涉及一种纳米复合涂层及其制备技术,具体地说是一种CrAlSiN纳米复合涂层的制备工艺。采用高功率脉冲与直流脉冲共溅射技术在金属或硬质合金基体上制备CrAlSiN纳米复合涂层。选用纯金属Cr、Al和Si(纯度均为99.99 wt.%)作为靶材,其中,高功率脉冲选用Cr靶,直流脉冲溅射选用Al靶和Si靶。镀膜前先通入Ar气,采用‑800 V偏压,对基片进行辉光清洗10~30 min。随后开启三个靶材,对基体和靶材表面进行轰击清洗,并逐渐降低偏压至‑30~100V。关闭Al靶和Si靶,沉积纯Cr过渡层10~40min。通入反应气体N,并开启Al靶和Si靶,沉积CrAlSiN涂层120~360 min。本发明涉及的CrAlSiN纳米复合涂层综合性能好,制备工艺简单,成分可控,重复性好,容易工业化生产。
    展开
  • 02

    说明书

    1.一种具有高硬度、高强度的CrAlSiN纳米复合涂层,其特征在于CrAlSiN涂层与基体
    之间有一层纯Cr金属过渡层,以提高涂层与基体之间的结合力,过渡层厚度为10~300 nm;
    CrAlSiN涂层总厚度为1~10 μm。
    2.根据权利要求1所述的涂层成分,其特征在于:CrAlSiN涂层中Cr含量为10~45 at.%,
    Al含量为5~35 at.%, Si含量为5~15 at.%,N含量为40~55 at.%,涂层成分通过调节Cr靶、
    Al靶、Si靶的功率来控制。
    3.根据权利要求1所述CrAlSiN涂层的组织结构,其特征在于:所述的CrAlSiN涂层为面
    心立方结构的(Cr,Al)N相,其中Si以非晶相SixNy的形式分布于(Cr,Al)N相晶界处,阻止
    (Cr,Al)N相长大,起到细化晶粒的作用。
    4.根据权利要求1所述CrAlSiN涂层的制备工艺,其特征在于:采用高功率脉冲和直流
    脉冲共溅射技术在金属或硬质合金上沉积具有高硬度、高强度的CrAlSiN纳米复合涂层。
    5.按照权利要求2所述的CrAlSiN纳米复合涂层的制备工艺,其特征在于:基体材料在
    丙酮、酒精、去离子水中超声清洗后,采用N2吹干,并放在旋转速度为5~45 r/min的转架上,
    基体材料与靶材距离约为60~120 mm。
    6.按照权利要求2所述的CrAlSiN涂层的制备工艺,其特征在于:采用机械泵和分子泵
    抽真空,当真空室气压优于1×10-3 Pa时,打开加热系统将炉腔加热至100~450 ºC;待炉内
    真空度优于2×10-3 Pa时,开启Ar气流量阀,气流量为30~300 sccm,调整节流阀使真空室压
    强为0.1~1 Pa,基体加-800V负偏压,辉光清洗10~30 min;开启Cr靶、Al靶和Si靶,靶材功率
    均为0.4~2 KW,对基体和靶材进行轰击清洗;降低偏压至-10~100 V,关闭Al靶和Si靶电源,
    沉积纯Cr金属过渡层10~40 min。
    7.按照权利要求2所述的CrAlSiN涂层的制备工艺,其特征在于:沉积CrAlSiN涂层时,
    同时通入N2和Ar,其气流量分别为30~300 sccm,调整节流阀使真空室压强为0.1~0.8 Pa,
    控制N2/Ar比在0.3~3之间;开启Cr靶、Al靶和Si靶,靶材功率均为0.4~2 KW,沉积CrAlSiN涂
    层;沉积时间为120~360 min。
    8.根据权利要求1所述的CrAlSiN涂层的厚度,其特征在于:涂层厚度为1~10 μm,根据
    所需涂层厚度调整靶材功率、基材转速、涂层的沉积时间等工艺参数。
    9.根据权利要求1所述的CrAlSiN涂层,其特征在于:所述CrAlSiN涂层硬度为20~50
    GPa,弹性模量为350~500 GPa,具有很好的抗高温氧化性能,与基体结合良好。
    展开

专利技术附图

服务流程

过户资料

  • 买卖双方需提供资料
  • 平台提供
  • 过户后您将获得
  • 买家
  • 卖家
  • 公司
  • 企业营业执照
  • 企业营业执照

    专利注册证原件

  • 个人
  • 身份证

    个体户营业执照

  • 身份证

    专利注册证原件

  • 专利代理委托书

    转让申请书

    转让协议

  • 手续合格通知书

    专利证书

    专利利登记簿副本

安全保障

  • 品类齐全

    海量资源库,平台整合几十万闲置资源。
  • 交易保障

    完善的资金保障体系确保买卖双方资金安全。
  • 专人跟进

    专业交易顾问全程服跟进,确保交易流畅。
  • 快速响应

    专业在线/电话客服服务,快速响应贴心服务。
  • 售后无忧

    资质过硬,国内大知识产权服务平台。
  • -我要咨询-
  • ×
联系人:
专利名称: *
联系电话: *
验证码:

提交

在线客服

在线咨询

010-83278899

返回顶部