掺铝钛氧化锌靶材的制备方法

本发明属于透明导电膜的制备领域，具体涉及掺铝钛氧化锌靶材及其制备方法。本发明要解决的技术问题是现有工艺制备的坯体易开裂，大尺寸平板坯体收缩过程易卷曲，常用单体具有毒性，等。本发明解决上述技术问题的方案是提供一种掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：a、将氧化铝、二氧化钛和氧化锌均匀分散到水中，混合球磨得到浆料；b、将MAM和PEGDMA分散到浆料中；c、向上述浆料中再加入催化剂和引发剂，然后用无水乙醇除泡；d、将除泡的浆料注入无孔模具，干燥得到掺铝钛氧化锌靶材坯体；e、将掺铝钛氧化锌靶材坯体烧结得到掺铝钛氧化锌靶材。本发明提供的方法简单易行，能制备出复杂形状的部件，其致密度高、电阻率低、抗弯强度高。

1.掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，包括以下步骤：
a、将氧化铝、二氧化钛和氧化锌均匀分散到水中，混合球磨2～6h，得到浆料；所述浆料
的固相体积分数为45～75％；所述浆料的pH值控制在6.0～10；所述氧化锌、氧化铝和二氧
化钛的质量比为96～99︰1～3︰0.2～2.5；所述氧化铝、二氧化钛和氧化锌的D₉₀为1～10微
米；所述的均匀分散时，需要使用分散剂；所述的分散剂为聚乙烯醇、聚羧酸盐、聚丙烯酸盐
或羧甲基纤维素盐中的至少一种；所述分散剂的添加量分别为浆料质量的0.001％～
0.01％；
b、将甲基丙烯酰胺和聚乙二醇二甲基丙烯酸分散到浆料中，并搅拌或球磨1～3h；所述
甲基丙烯酰胺的添加量为浆料质量的0.05％～2.0％；聚乙二醇二甲基丙烯酸的添加量为
浆料质量的0.05％～2.0％；
c、向b步骤得到的浆料中再加入催化剂和引发剂，并搅拌0.25～1h；然后用无水乙醇除
泡；所述的催化剂为N,N,N’,N’-四甲基乙二胺；所述的引发剂为过硫酸铵；所述催化剂和引
发剂的添加量分别为氧化铝、二氧化钛和氧化锌质量总和的0.05％～0.50％；
d、将除泡的浆料注入无孔模具，干燥直至能够脱模，得到掺铝钛氧化锌靶材坯体；
e、将掺铝钛氧化锌靶材坯体从室温加热进行烧结，随炉冷却，得到掺铝钛氧化锌靶材；
所述烧结的升温步骤为：50～80min从室温升温至100℃；50～80min从100℃升温至240℃，
在240℃保温120～150min；120～300min从240℃升温至500℃，在500℃保温120～180min；
120～300min从500℃升温至800℃；120～300min从800℃升温至1000℃，在1000℃保温120
～180min；120～300min从1000℃升温至1200℃；120～300min从1200℃升温至1400℃，在
1400℃保温180～240min。
2.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤c所述无水
乙醇的添加量为加入了催化剂和引发剂之后总质量的0.05％～0.2％。
3.根据权利要求1所述的掺铝钛氧化锌靶材的制备方法，其特征在于：步骤d所述干燥
的温度为16～30℃。