自组织单量子点的定位方法及装置

本发明公开了一种自组织单量子点的定位装置和方法，其装置包括：激光器，其用于产生激发光，激发量子点样品中的量子点产生荧光光束；紫外光源装置，其用于产生紫外光，对单量子点微区光刻胶曝光；显微物镜，其用于汇聚所述激发光和紫外光到所述量子点样品表面微区，并收集所述微区中量子点的荧光光束，其还用于扫描样品表面；光谱仪，其用于表征所述荧光光束，得到荧光光谱；其方法是：在所述荧光光谱找到单量子点对应的分立谱线后停止扫描，打开所述紫外光对当前扫描的样品表面微区光刻胶曝光，以定位单量子点。本发明避免了平面阵列版图工艺在定位单量子点微区上的盲目性，达到了原位准确定位单量子点的目的，提高了单光子源器件的成品率。

1.一种定位自组织单量子点的装置，其包括：激光器，其用于产生激发光，所述激发光沿光路经显微物镜汇聚，照射在量子点样品表面微区，激发所述微区中的量子点产生荧光光束；紫外光源装置，其用于产生紫外光；显微物镜，其用于汇聚所述激发光和紫外光到所述量子点样品表面的微区，并收集所述量子点样品表面的微区中量子点发出的荧光光束，其还用于扫描量子点样品表面；光谱仪，其用于表征所述荧光光束，得到荧光光谱；其中，在所述荧光光谱中找到单量子点发出的荧光对应的分立谱线后，所述显微物镜停止扫描，并打开所述紫外光源装置对当前扫描的量子点样品表面微区的光刻胶进行曝光，以定位自组织单量子点的位置。
2.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述量子点样品表面涂有负性光刻胶，其感应所述紫外光源装置发出的紫外光，而对所述激光器发出的激发光和量子点荧光透明。
3.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激发光和紫外光通过第一分束器合束，共用一条光路。
4.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述显微物镜将所述激发光和紫外光汇聚到所述量子点样品表面，且照射在所述量子点样品上的激发光光斑和紫外光光斑基本重合。
5.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括第二分束器、滤光片和透镜，所述显微物镜收集的荧光光束经所述第二分束器透射并经所述滤光片滤除激发光和紫外光后，被所述透镜聚焦到所述光谱仪的入射狭缝。
6.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光器为氦氖激光器；所述紫外光光源装置为固体激光器、半导体激光器或经扩束、准直和滤光的汞灯之一。
7.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括挡板和衰减片组，其中所述挡板用于开关所述紫外光，而所述衰减片组用于调整所述紫外光强度。
8.如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述自组织单量子点为发光波长在近红外波段的自组织铟砷单量子点。
9.一种自组织单量子点的定位方法，其包括：步骤1、将表面预涂负性光刻胶的量子点样品放入杜瓦中；步骤2、由激光器发出的激发光经显微物镜汇聚后，照射所述量子点样品表面的微区；步骤3、用显微物镜对所述量子点样品表面进行扫描，并收集所述微区中的量子点发出的荧光光束；步骤4、由光谱仪表征所述荧光光束，获得荧光光谱；步骤5、从所述荧光光谱找到单量子点发出的荧光对应的分立谱线，并停止扫描；步骤6、对停止扫描时所述显微物镜聚焦的所述量子点样品表面的微区进行紫外光曝光，以定位自组织单量子点的位置。