微纳集成器件制备新材料新工艺研究

本项目面向国家紧迫需求，具体以适用于新功能器件的材料设计合成 为起点，以超快激光与物质动态耦合相互作用、光场与外场协同作用调控 为手段，以实现超衍射极限的激光加工分辨率为目标，开展新工艺及其应 用研究。提出了表面自平滑、等弧扫描、壳层扫描等创新技术，对于聚合 物等特定材料加工取得了亚 20 纳米的加工分辨率，实现了以非球面微透 镜、磁遥控微机械、石墨烯柔性集成器件、双光子泵浦有机半导体光电器 件、竖置微孔过滤网微流控芯片和仿生功能表面为代表的一系列微纳集成 新结构与新器件。