密集纳米颗粒单层膜氢气传感器

一种基于金属钯纳米颗粒近距邻接点阵共振隧穿的氢传感器及其先进制备技术。传感器用于氢气测量，具有高速响应(100ms量级响应时间)，高灵敏度(探测下限<10ppm)及低功耗(数微瓦到百纳瓦)，传感单元面积可小于1mm2。可涵盖氢分压从数Pa到一个大气压的宽广量程范围的氢气探测，同时保持全量程范围的高灵敏度。这种传感器兼容低温、室温到高温工作环境，可在有氧或无氧环境工作，并对氢气具有绝对选择性。其性能指标全面超越现有的商品化氢气传感器。同时本项目开发的制备工艺全程可控，与常规器件制作方法兼容性好，适合于产业化生产。