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一种用于甩胶机吸附较小样品的真空吸附盘结构(公开号:CN204933902U)

一种用于甩胶机吸附较小样品的真空吸附盘结构(公开号:CN204933902U)

  • 专利类型:实用新型
  • 有效期:不限
  • 发布日期:2020-11-23
  • 技术成熟度:正在研发
交易价格: ¥面议
  • 法律状态核实
  • 签署交易协议
  • 代办官方过户
  • 交易成功

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  • 技术(专利)类型 实用新型
  • 申请号/专利号 CN201520417700.0 
  • 技术(专利)名称 一种用于甩胶机吸附较小样品的真空吸附盘结构(公开号:CN204933902U) 
  • 项目单位 兰州大学
  • 发明人 李喜玲 郭党委  
  • 行业类别 作业、运输
  • 技术成熟度 正在研发
  • 交易价格 ¥面议
  • 联系人 兰州大学
  • 发布时间 2020-05-28  
  • 01

    项目简介

    本实用新型公开了一种用于甩胶机吸附较小样品的真空吸附盘结构,包括一凸型的真空吸附盘,所述吸附盘的上端面直径为9mm,且吸附盘的上端面中心有一个镂空的真空吸附孔,以及与真空吸附孔相连的四条凹槽,所述吸附盘中间直径为40mm;所述吸附盘最下端设有一个镂空的圆柱体,所述真空吸附孔与真空吸附凹槽相连通,所述镂空圆柱体与真空吸附空相连通;本实用新型避免了甩胶时小片子粘大片子带来的表面不平整,而引起的光刻胶厚度不均匀,进而影响曝光精度;也避免了涂完胶小片不好取的弊端;避免了电机的损坏;为小片涂胶带来了极大的便利。
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