1982年1月毕业于西安交通大学，教授，博士生导师。1987年6月获西安交通大学电子物理与器件专业硕士学位，1992年7月获中国原子能科学研究院加速器物理及应用专业博士学位，1992年12月至1994年8月在西安交通大学电子学与通信博士后科研流动站从事博士后科研工作，2002年7月至12月在日本佐贺大学做高级访问学者，任客座教授。2000年获国务院政府特殊津贴。国务院学位委员会第五届学科评议组成员。政协西安市第十届和第十一届委员会委员。     历任西安交通大学电子工程系电子束离子束教研室副主任，精细功能电子材料与器件国家专业实验室副主任，电子与信息工程学院物理电子与光电子技术系副主任，电子与信息工程学院党总支副书记，工程与科学研究院电子物理与器件研究所副所长，电子与信息工程学院电子物理与器件研究所副所长、所长、电子科学与技术系主任，现任电子与信息工程学院分党委书记，电子物理与器件教育部重点实验室主任。现兼任教育部高等学校电子科学与技术专业教学指导委员会委员，中国平板显示技术标准工作组成员，全国纳米技术标准化技术委员会微纳加工技术标准化工作组成员，中国电子学会真空电子学分会委员会委员，中国兵工学会光学专业委员会委员，中国真空学会显示技术专业委员会理事，陕西省电子学会理事兼显示技术专业委员会主任，《强激光与粒子束》、《光学技术》、《光电子•激光》、《Optoelectronics Letters》和《真空电子技术》杂志编委会委员。