一种柔顺转移微米级颗粒的装置及方法

一种柔顺转移微米级颗粒的装置及方法，属于微米级颗粒转移领域。本发明为解决现有的采用机械夹持或真空吸附方式对微米级颗粒进行转移的过程中，颗粒粘附于操作工具上，以及夹持或吸附时产生的局部高应力造成操作器件或颗粒损伤的问题。装置包括一号三轴位移平台、一号显微镜、支撑架、压电陶瓷管、第一连接件、二号三轴位移平台和毛细管，压电陶瓷管套在毛细管上且二者之间粘接，毛细管设置在支撑架的一端，支撑架的另一端固定在一号三轴位移平台的移动台上，支撑架的两端之间具有间隔，所述一号显微镜通过第一连接件固定在二号三轴位移平台的移动台上，一号显微镜的物镜对准毛细管的下端。本发明用于微米级颗粒的转移。