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基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法

基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法

  • 专利类型:发明专利
  • 有效期:不限
  • 发布日期:2020-03-27
  • 技术成熟度:未知
交易价格: ¥面议
  • 法律状态核实
  • 签署交易协议
  • 代办官方过户
  • 交易成功

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  • 技术(专利)类型 发明专利
  • 申请号/专利号 CN201210145546.7 
  • 技术(专利)名称 基于静电键合的玻璃/硅/玻璃三层结构材料的制备方法 
  • 项目单位 厦门大学
  • 发明人 吕文龙 占瞻 左文佳 杜晓辉 苏源哲 王凌云 孙道恒  
  • 行业类别 作业、运输
  • 技术成熟度 未知
  • 交易价格 ¥面议
  • 联系人 厦门大学
  • 发布时间 2017-01-18  
  • 01

    项目简介

    基于静电键合的玻璃硅玻璃三层结构材料的制备方法,涉及一种用于制作微纳器件的三层结构材料。采用阳极键合将硅片与第1玻璃片键合得硅第1玻璃组合片;采用磁控溅射法在硅第1玻璃组合片的双面溅射金属得覆盖硅第1玻璃组合片外表面金属结构;采用机械磨削法去除覆盖硅第1玻璃组合片外表面金属结构靠近硅片一侧表面的金属,采用化学机械抛光法抛光裸露的硅片表面,加工后硅第1玻璃组合片的第1玻璃片表面及侧壁覆盖有金属;将硅第1玻璃组合片以及第2玻璃片置于键合机中,硅第1玻璃组合片覆盖金属的第1玻璃片一侧连接键合机正极,正电压通过金属电极连接至硅片,第2玻璃片连接键合机负极,采用阳极键合加工得产物。
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