气相生长装置

本发明提供一种能够使外齿轮和内齿轮自动成为啮合状态的自转公转型的气相生长装置。在该气相生长装置中，在在圆盘状的基座的外周部周向上设有的多个能够旋转的外齿轮构件，在该外齿轮构件和具有与该外齿轮构件啮合的内齿轮的环状的固定内齿轮构件中的至少任意一个齿轮构件的齿侧面上设置有引导斜面，在两齿轮构件从非啮合状态的位置移动到啮合状态的位置时，该引导斜面与另一个齿轮构件的齿侧面抵接而将两齿轮构件引导成啮合状态。