一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台

本发明公开了一种压电陶瓷驱动的二维并联微动平台，由基座、运动平台、压电陶瓷驱动器、位移放大机构及导向机构等部分组成。第一、第二压电陶瓷驱动器相互垂直地放置在基座上各自的圆柱形槽内，驱动器的输出端紧靠在位移放大机构的输入铰链上，经位移放大机构和导向机构将运动传递给运动平台。本发明采用二级放大机构和复合平行四杆导向机构，使得微动平台结构紧凑，能在实现大行程运动的同时保证高的固有频率，X轴方向和Y轴方向能够有效解耦，压电陶瓷驱动器和柔性铰链平台的组合保证了运动传递的无摩擦，无间隙、高精度、高稳定性和快速响应。运动平台在X轴、Y轴方向上均设有位移传感器，便于实现微动平台的全闭环控制。