共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器

共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼隔振器属于精密隔振技术领域，隔振器主体的套筒与下安装板、活塞筒与套筒之间通过气浮面进行润滑与支撑，通过电涡流阻尼器衰减振动能量、提高定位稳定性，上安装板与下安装板之间的水平直线运动自由度通过共面正交气浮导轨进行解耦，二者之间的角运动自由度通过滑动关节轴承进行解耦，音圈电机、位移传感器、限位开关和控制器、驱动器构成位置闭环反馈控制系统，对上、下安装板的相对位置进行精确控制；本发明具有三维零刚度、高定位精度、直线运动自由度和角运动自由度解耦的特性，可有效解决超精密测量仪器与加工装备、尤其是步进扫描光刻机中的高性能隔振问题。