一种基于柔性梁的层叠式的并联二自由度精密定位平台

本发明公开了一种基于柔性梁的层叠式的并联二自由度精密定位平台，该定位平台包括有下层导向平台、上层解耦平台、X轴驱动组件和Y轴驱动组件。下层导向平台为上层运动结构平台提供运动导向，其结构主要包括四组基于柔性铰链的柔性导轨；上层运动解耦平台由用于实现运动解耦的四组柔性铰链、承载台组成；电机安装与锁紧机构包括电机连接器、柔性推杆、电机安装板以及电机轴锁紧机构。上层的运动解耦平台通过八颗锁紧螺钉与下层的柔性导向平台相连接；精密直线电机通过螺钉与电机连接器相连接；电机安装板通过螺钉与导向柔性平台刚性连接，并分别提供二个螺纹孔用于电机连接器的安装。